超聲波的頻率與空化作用也有關(guān)，超聲波頻率越高其空化閾值越大，產(chǎn)生空穴所需的聲壓強(qiáng)度也越大。超聲波頻率低時(shí)，產(chǎn)生的空穴大而數(shù)量少，爆破力強(qiáng)；超聲波頻率增加時(shí)，空穴小而數(shù)量多，爆破力小而范圍廣，清洗比較精細(xì)。但如果頻率增加到超高頻近1000KHZ時(shí)將不再產(chǎn)生空化作用，其清洗能量主要是靠加速度能量，將達(dá)到重力加速度的105倍，用于去除亞微米粒子污染。